桃園2017年11月24日電 /美通社/ -- 由致茂電子投資的兆晟奈米科技于24日與工業(yè)技術(shù)研究院進(jìn)行“奈米粒子監(jiān)控技術(shù)”轉(zhuǎn)移簽約儀式，工研院并將成為兆晟奈米科技的重要股東。兆晟奈米科技已于日前獲準(zhǔn)進(jìn)入新竹科學(xué)園區(qū)，發(fā)展、制造半導(dǎo)體先進(jìn)制程所使用溶液的奈米粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，有效協(xié)助提升半導(dǎo)體制程良率。

半導(dǎo)體制程中常用到大量溶液，進(jìn)行晶圓表面的清洗、研磨與蝕刻。隨著半導(dǎo)體制程從20奈米、10奈米乃至7奈米，電晶體縮小會(huì)使電流通道的寬度越窄，故制作過(guò)程中只要溶液出現(xiàn)一絲雜質(zhì) -- 殺手級(jí)的奈米粒子，就會(huì)影響產(chǎn)品良率。目前現(xiàn)有的光散射粒子量測(cè)技術(shù)在20奈米以下已難以精準(zhǔn)偵測(cè)溶液中粒子的大小、數(shù)量，導(dǎo)致半導(dǎo)體制程良率難以控管。兆晟奈米將提供半導(dǎo)體廠一副“鷹眼”般的眼鏡：“新世代溶液奈米粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng) -- SuperSizer”，可準(zhǔn)確偵測(cè)制程液態(tài)環(huán)境中5奈米以上粒子的大小與分布情形，使廠商得以采取必要的措施改善制程提升良率。此技術(shù)除應(yīng)用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程，亦可應(yīng)用在電子、光電、生醫(yī)材料等領(lǐng)域。

兆晟奈米科技將結(jié)合致茂集團(tuán)營(yíng)運(yùn)據(jù)點(diǎn)及行銷通路，拓展全球市場(chǎng)。致茂電子為精密電子量測(cè)儀器、自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)、智慧制造系統(tǒng)與全方位Turnkey測(cè)試及自動(dòng)化解決方案領(lǐng)導(dǎo)廠商，在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域已具備多項(xiàng)后端制程精密量測(cè)產(chǎn)品線，兆晟奈米科技的加入將成為致茂集團(tuán)提供半導(dǎo)體前端制程檢測(cè)解決方案的供應(yīng)商，滿足半導(dǎo)體制程更完整的檢測(cè)需求。